太阳能电池片专用扩散炉
站内搜索
|
太阳能电池片专用扩散炉
详细信息 太阳能电池专用扩散炉主要技术数据 ◆工作温度: 300~1300℃ ◆有效口径 根据用户扩散片确定,可订制 ◆恒温区长度: 1080mm(可根据用户要求定制) ◆温区精度 (静态闭管测试): 800℃<工作温度<1200℃: ±0.5℃ 300℃≤工作温度≤800℃: ±1℃ ◆单点温度稳定性(静态闭管测试): 800℃<工作温度<1200℃: ±0.5℃/24h 300℃≤工作温度≤800℃: ±1℃/24h ◆温度斜变能力: 最大可控升温速度(300~1300℃):15℃/min 最大降温速度(1300~900℃): 5℃/min ◆气体流量设定精度: ±2%FS ◆气路系统气密性: 1×10-7pa.m3/s ◆自动送料装置行程: ~2000mm 速度: 5~1000mm/min SiC浆承重 19kg ◆装片数量 400片/管 ◆净化台洁净度 100级(10000级厂房) ◆三相五线制 380V±10%,50Hz±10%Hz; ◆冷却水: 2~4Kgf/cm2,~8L/min 太阳能电池扩散主要有开管扩散和闭管软着陆扩散两种形式 ◆闭管磷扩散,带有工艺废气冷却定向回收装置,偏磷酸、CL2分开收集处理;工艺废气集中收集从尾部定向排出;各种工艺气体可分开送入石英管内,工艺气体(三氯氧磷)可采用喷淋式方式引入到石英管内。闭管软着陆扩散方式工艺过程完全不受外界环境干扰,工艺质量完全受保护。 ◆自动化程度:自动控制温度及工艺过程。主控温控模块采用国外进口,可在达到±0.25℃的控制精度。 ◆送取片方式:悬臂式推拉舟。采用侧面布局的悬臂推拉结构,可有效的防止偏磷酸下滴,造成推拉机构受腐蚀,影响推拉机构的精确性。 共0条 相关评论 |
手机扫一扫
浏览该企业微旺铺